本发明提供一种弹性表面波装置，关于包含频率温度特性的各特性为良好。弹性表面波装置包含：晶体层；非晶氧化硅层，层叠于所述晶体层上；压电层，层叠于所述非晶氧化硅层上；以及梳形电极，形成于所述压电层上，用于在所述压电层上激励弹性表面波。当将所述弹性表面波的波长设为λ时，0.1≤所述非晶氧化硅层的厚度/λ≤1，0.08＜压电层的厚度/λ≤1。