本发明涉及一种高频声表面波叉指换能器的制备方法，本发明将叉指金属图案和汇流条图案分两步制作从而快速精确地获得了高频声表面波叉指换能器金属图案。本发明的目的是高效可靠地制备高频声表面波叉指换能器。本发明采用的离子束抛光去除了叉指图案部分正型光刻胶上的金属材料，极大地改善了剥离工艺，增加了器件制备的鲁棒性，使成品率提升，而且采用套刻光刻技术制备大面积的汇流条金属图案部分，提升了器件制备的效率，适用于密集的多对数的长叉指高频声表面波叉指换能器的制备。总体而言，该制备方法具有跨尺度、高效率、低成本、高可靠性等优点，可实现大批量、大面积的高频声表面波叉指换能器制备。