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| 专利名称 | 体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法 |
| 申请日 | 2019-02-25 |
| 申请号/专利号 | CN201910136423.9 |
| 专利权人 | 三星电机株式会社 |
| 申请人 | 三星电机株式会社 |
| 发明人/设计人 | 尹湘基;朴南洙;朴炯哉;李泰京;李文喆 |
| 公告日 | 2019-11-26 |
| 公告号 | CN110504935A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
摘要
本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法，所述方法包括：在基板保护层上形成牺牲层；在所述基板保护层上形成膜层，以覆盖所述牺牲层；以及通过使用包含卤基气体和含氧气体的气体混合物去除所述牺牲层形成腔，其中，所述气体混合物中所述卤基气体与所述含氧气体的混合比在1.5至2.4的范围内。
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