本发明提供了一种谐振器及其制作方法，包括：提供衬底，在衬底上形成至少一个第一凹槽，并在第一凹槽内填充待刻蚀材料；在衬底表面形成压电结构层，压电结构层包括依次位于衬底表面的种子层、下电极、压电层和上电极；对每个压电区四周的压电结构层进行刻蚀形成第二凹槽，每个压电区的压电结构层对应覆盖一个第一凹槽；在第二凹槽内填充待刻蚀材料，并在衬底表面形成与各个压电区的上电极电连接的互连电极；去除待刻蚀材料，在第一凹槽对应的区域形成第一空腔，在第二凹槽对应的区域形成第二空腔。由于每个压电区的压电结构层四周都具有第二空腔，而能量在介质与空气的界面会被反射回来，因此，可以最大程度的减少能量的损失，提升谐振器的Q值。