一种基于MEMS工艺的同轴两段式Halbach永磁同步微电机，包括机壳、2个定子组件、4个转子组件、轴、轴承、隔磁板、保护盖和电机引出线。定子转子采用同轴两段式串联结构，定子固定在机壳上，定子绕组采用MEMS工艺制成，无铁心结构，对称分布于硅基片两侧，正反线圈采用过线孔连接。转子对称分布于定子两侧，转子表面永磁体磁采用Halbach结构，中间相邻转子间安装隔磁板隔断电磁耦合回路，形成两个独立的电气单元并同轴串联，从而使得两个单元的力矩通过轴综合为一个力矩输出。两轴承分别置于机壳和端盖之间的轴承室中实现对轴的支撑，后端盖与机壳连接，并将上述组件封装在内；定子绕组通过机壳引出线引出机壳外。