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专利名称一种高性能声表面波谐振器及其制备方法
申请日2019-01-31
申请号/专利号CN201910101149.1
专利权人上海师范大学
申请人上海师范大学
发明人/设计人赵祥永;谢青秀;唐艳学;王飞飞;王涛
公告日2019-06-18
公告号CN109905097A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明一种高性能声表面波谐振器及其制备方法,涉及声表面波谐振器技术领域。谐振器由电极层(1)、压电基底层(2)依次叠加构成。所述电极层材料为金(Au),铝(Al)或铜(Cu)。所述电极层标准化厚度为0.5%λ≤he≤20%λ,λ是声表面波波长。所述压电基底层材料为掺杂钛酸钡的钛酸铋钠系铁电晶体(NBT‑xBT)。所述压电基底层材料标准化厚度为hNBBT≥4λ,欧拉角为0°≤θ≤180°。本发明,通过合理优化本发明提出的谐振器结构能取得高的主模机电耦合系数,高达18%,在优化结构参数能够很好的抑制杂波,获得纯净的极大机电耦合系数的主模,对于设计宽带声表面波器件起到关键作用。
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