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专利名称一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块
申请日2019-01-23
申请号/专利号CN201920115109.8
专利权人武汉衍熙微器件有限公司
申请人武汉衍熙微器件有限公司
发明人/设计人赵坤丽;赵俊武
公告日2019-10-25
公告号CN209545541U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型提供一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块,谐振器包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底,其中底电极与衬底之间设有空气腔,空气腔中设有至少1个分布反射器;分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成,分布反射器的顶部与底电极连接,分布反射器的底部与衬底连接。本实用新型通过在空气隙型或背腔型FBAR的空气腔或背腔区域增加分布反射器将热量通过热传导的方式释放到衬底中,从而达到快速散热的目的,而且分布反射器具有很好的声反射特性,可以通过改变分布反射器的大小能够降低分布反射器对谐振器性能的影响。
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