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专利名称压电振动片、压电振动器及制造方法
申请日2019-01-16
申请号/专利号CN201910039917.5
专利权人精工电子水晶科技股份有限公司
申请人精工电子水晶科技股份有限公司
发明人/设计人市村直也;小林高志
公告日2019-07-23
公告号CN110048689A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

在音叉型的压电振动片中实现更高的频率精度。在音叉型的压电振动片的振动臂部(7)的前端部,形成用于频率调整的重锤膜(75),并以沿着其长边方向产生阶梯差的方式,从重锤膜(75)的表面侧较薄地除去厚度方向的一部分而设置阶梯差,而不是熔化除去既定区域整体(总厚度)。在重锤膜(75)的除去中,将脉宽为皮秒~飞秒的飞秒激光(Lf)直接照射到重锤膜(75),从而进行非热加工。利用该飞秒激光(Lf),对于重锤膜(75)的厚度Nμm除去厚度nμm(n<N),从而能够在重锤膜(75)形成阶梯差,并能进行精度较高的频率调整。
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