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专利名称一种滤波器的晶圆级封装结构
申请日2019-01-16
申请号/专利号CN201920070123.0
专利权人厦门云天半导体科技有限公司
申请人厦门云天半导体科技有限公司
发明人/设计人姜峰
公告日2019-10-15
公告号CN209497431U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

一种滤波器的晶圆级封装结构,包括芯片基体,该芯片基体的工作面设有焊盘和IDT;还包括第一薄膜层、第二薄膜层和金属连接件;该第一薄膜层位于芯片基体的工作面,并露出焊盘的局部和IDT;该第二薄膜层位于第一薄膜层表面并露出焊盘的局部;该第二薄膜层、第一薄膜层和芯片基体工作面之间形成有保护腔,IDT位于保护腔内;该金属连接件与焊盘电性连接并设有焊接部。本实用新型利用两层薄膜覆盖滤波器表面,形成空腔能够提高封装可靠性,工艺流程大幅优化,整个封装成本低。由于采用薄膜做空腔盖板,使得晶圆级封装后具有更小的翘曲,提升产品的制程良率。
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