本发明提供振动器件及其制造方法、电路装置、电子设备和移动体，能够实现振子的稳定支承和振子的振动特性的提高。振动器件包含：振子，其具有第1和第2电极；以及电路装置，其具有驱动电路和输出电路，该驱动电路对振子进行驱动，该输出电路输出与被驱动电路驱动时的振子的振动特性对应的监测信号。电路装置包含：第1端子，其与第1电极电连接，输出从驱动电路到振子的输出信号；第2端子，其与第2电极电连接，被输入从振子到驱动电路的输入信号；第3端子，其不与振子的第1电极和第2电极电连接；以及监测端子，其输出监测信号。振子利用设置于第1、第2和第3端子的导电性凸块而被支承在电路装置的有源面侧。