本发明提供了一种微小单群孔振动电极电火花‑电解可控复合加工工艺方法及装置，属于特种加工技术领域。以超低浓度中性盐溶液为工作液，在两极间施加相应的脉冲电压，电极沿进给方向作往复振动，通过对电极的振动控制，调节两极间隙大小，当电极正向振动使得极间间隙小于火花放电间隙，发生电火花反应；当电极负向振动，极间距离大于放电间隙，火花放电逐渐转变为电解反应；当极间距离过大，电解反应结束，工作液进入消电离状态，此后随着电极进给，进入下一加工周期,通过振动模式的优化实现电火花和电解加工的可控复合。本发明可以获得较好的表面质量，提高加工效率，同时加工过程的控制和加工一致性得到了有效保障。