本申请公开了一种MEMS器件。该MEMS器件包括：CMOS电路；以及MEMS模块，位于CMOS电路上，CMOS电路与MEMS模块连接，用于驱动MEMS模块，其中，MEMS模块包括：保护层，位于CMOS电路上；空腔，位于保护层中；第一电极，位于保护层与空腔上，与CMOS电路电连接，第一电极覆盖空腔；压电层，位于第一电极上，压电层与空腔的位置对应；第二电极，位于压电层上，与CMOS电路电连接；以及通孔，位于保护层或第一电极上，通孔到达空腔中，其中，压电层将通孔暴露。该MEMS器件的灵敏度高同时又显著降低制造成本和改善工艺兼容性。