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专利名称一种声表滤波器及制作方法
申请日2018-12-28
申请号/专利号CN201811622047.6
专利权人河北时硕微芯科技有限公司
申请人河北时硕微芯科技有限公司
发明人/设计人董启明
公告日2019-03-12
公告号CN109462384A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本申请公开了一种声表滤波器及制作方法,包括基片和在基片的金属薄膜上制作形成的换能器,所述基片的侧边垂直于所述换能器的信号传输方向设置有散射结构。所述散射结构为金属条,所述金属条面向所述换能器的侧面呈锯齿状。制作方法包括以下步骤:清洗;镀膜;去静电;光刻;腐蚀。本申请的有益效果是通过在基片上设置换能器以及金属条结构的散射结构,使得经过所述散射结构的信号发生散射,进而避免了信号经基片端面反射后直接进入换能器内部而产生较大寄生杂波的影响,优化了滤波器的通带波动、带外抑制等电性能指标。
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