本发明提供了一种基于Marx结构的多级谐振充电型脉冲功率发生器，具有这样的特征，包括：高频谐振充电电源，用于产生高频交流电压；变压器组件，包括与高频谐振充电电源连接的用于传输高频交流电压的变压器原边、穿过有变压器原边的多个磁芯以及围绕固定在磁芯上的用于产生副边交流电压的多个变压器副边；多个整流电路，与变压器副边连接，用于将变压器副边产生的副边交流电压进行整流后转变为直流电压；m个n级全固态Marx发生器，与整流电路连接，具有n个用于进行充放电的电容、n个与电容连接的用于控制充电的充电开关管以及n个与电容连接的用于控制放电的放电开关管；以及负载，与n级全固态Marx发生器连接，用于接受由电容放电产生的高压脉冲。