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专利名称一种柔性体声波滤波器
申请日2018-12-26
申请号/专利号CN201811603812.X
专利权人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
申请人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
发明人/设计人庞慰;高传海;张孟伦
公告日2019-06-14
公告号CN109889182A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明提供一种柔性体声波滤波器,包括:柔性基底、多个谐振器、端口电极、连接带,其中,柔性基底的材料包括但不限于:聚对苯二甲酸类塑料、聚乙酰亚胺、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚酰亚胺、金属或者无机材料。谐振器的图形为多边形、椭圆形或由多段弧线及直线构成的异形,并且满足条件:任意两边互不平行,图形中内角≥60°,串联谐振器和并联谐振器的谐振组数≥2。该柔性体声波滤波器能够应用于向柔性衬底上的转移过程,且在转移后具有结构稳健性。本发明中,还通过添加边缘约束结构使得工作区域结构稳健,通过添加额外附着区域面积增大了该滤波器在柔性衬底上附着能力。
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