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专利名称带有温度补偿层的谐振器、滤波器
申请日2018-12-26
申请号/专利号CN201811605272.9
专利权人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
申请人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
发明人/设计人张孟伦;庞慰;杨清瑞
公告日2019-05-24
公告号CN109802646A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及通信领域,提供一种带有温度补偿层的谐振器、滤波器。本发明中,多个所述谐振器用于级联形成滤波器;其中所述谐振器包括位置关系依次相连的顶电极、压电层、底电极、声反射结构、基底以及位于所述顶电极或所述压电层的温度补偿层;所述压电层的其中一部分掺杂有稀土元素。本发明与现有技术相比,可以在不影响谐振器其它性能的情况下,能够调节温度补偿层材料的声速温度系数以调节温度补偿层材料的温度补偿能力,从而使得谐振器的设计过程具有更强的灵活性。
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