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专利名称包括环形凸起梁檐结构的声学谐振器、滤波器和电子设备
申请日2018-12-26
申请号/专利号CN201811616631.0
专利权人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
申请人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
发明人/设计人杨清瑞;庞慰;张孟伦
公告日2019-07-26
公告号CN110061712A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及通信领域,提供一种包括环形凸起梁檐结构的声学谐振器、滤波器和电子设备,该谐振器包括位置关系依次相连的顶电极、压电层、底电极、声反射结构以及基底;顶电极的边缘具有檐部结构且檐部结构位于声学谐振器的有效区域内,檐部结构与压电层之间具有空气隙;顶电极的边缘还具有梁部结构且梁部结构的其中一部分位于声学谐振器的有效区域内,梁部结构与压电层之间具有空气隙;檐部结构对应的位置具有第一凸起结构,梁部结构对应的位置具有第二凸起结构。本发明与现有技术相比,能够有效的提高声学谐振器的品质因数或并联阻抗。
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