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专利名称 | 在叉指换能器制造过程中提高曝光效果的方法和叉指换能器的制造方法 |
申请日 | 2018-12-25 |
申请号/专利号 | CN201811590956.6 |
专利权人 | 泉州三安半导体科技有限公司 |
申请人 | 泉州三安半导体科技有限公司 |
发明人/设计人 | 朱庆芳;邹福松;杨濬哲;谢祥政;尚荣耀 |
公告日 | 2019-06-04 |
公告号 | CN109842393A |
法律状态 | 审中 |
专利类型 | 发明 |
行业分类 |
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