本发明公开了一种基于人工表面等离激元的太赫兹倍频器，其包括依次连接的第一共面波导CPW传输线、第一人工表面等离激元SSPP传输线、倍频管芯、第二人工表面等离激元SSPP传输线及第二共面波导CPW传输线。本发明的基于人工表面等离激元的太赫兹倍频器利用具有衰减结构和渐变槽深结构的共面波导CPW传输线及人工表面等离激元SSPP传输线，实现波动量和波阻抗的宽带匹配，将信号由传统CPW过渡到新型SSPP波导，具有集成度高、损耗小、线间串扰极低等特点，在太赫兹集成器件中具有良好的应用前景。