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专利名称谐振器和半导体器件
申请日2018-12-20
申请号/专利号CN201822150667.6
专利权人中国电子科技集团公司第十三研究所
申请人中国电子科技集团公司第十三研究所
发明人/设计人李亮;吕鑫;梁东升;刘青林;马杰;高渊
公告日2019-07-09
公告号CN209088901U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种谐振器和滤波器。该谐振器包括衬底;多层结构,形成于所述衬底上,所述多层结构由下至上依次包括下电极层、压电层和上电极层;其中,在所述衬底和所述多层结构之间形成有腔体,所述腔体包括位于所述衬底上表面之下的下半腔体和超出所述衬底上表面并向所述多层结构突出的上半腔体。上述谐振器通过设置具有下半腔体和上半腔体的腔体,且下半腔体整体位于衬底上表面之下,上半腔体整体位于衬底上表面之上,从而形成一种新型的谐振器结构,且具有较好的性能。
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