本发明公开了一种高效率的170GHz三倍频器，包括直流输入及滤波器，以及依次连接的输入波导、本振波导过渡、本振滤波器、二极管输入匹配、肖特基变容二极管、二极管输出匹配、射频波导过渡和输出波导；其中，所述直流输入及滤波器采用Rogers5880基片，其余电路采用石英基片，所述直流输入及滤波器通过金丝键合与石英基片相连，其接入位置位于所述本振波导过渡与本振滤波器之间。本发明采用容性二极管实现170GHz太赫兹三倍频器，相比现有采用阻性二极管实现倍频器而言，效率更高，功率容量更大，在同样的驱动功率下可以输出更高功率的太赫兹信号，使后级太赫兹混频器能更好的工作。