本发明公开了一种特定谐波消除多电平射频脉宽调制的功率均衡方法及调制器。该方法基于特定谐波消除多电平RF‑PWM输出的多电平射频脉冲信号，利用面积等效原理，根据输出多电平RF‑PWM信号的脉冲上升和下降沿，将特定谐波消除多电平RF‑PWM信号分解为多个脉冲面积相等的3电平RF‑PWM信号，驱动后级的SMPA单元，在实现多电平RF‑PWM输出脉冲序列特定谐波消除的同时，实现后级SMPA单元之间以及单元内各功率管之间的功率均衡；该射频脉宽调制器基于上述功率均衡方法，利用数字延时线单元产生驱动后级5电平SMPA单元的移相控制信号，实现对3X次特定谐波的主动消除。本发明不需引入额外功率均衡控制电路，简化了调制器结构。