本申请涉及一种微波功率源，包括控制器和波形调节器，以及依次连接的信号发生器、调制器、衰减器和放大器。控制器分别连接信号发生器、调制器和波形调节器。波形调节器连接衰减器。信号发生器用于输出初始信号至调制器，调制器用于对初始信号进行调制后输出调制信号至衰减器，衰减器用于调节调制信号的波形和增益后，得到微波信号并输出至放大器，放大器用于放大微波信号并对外输出。控制器用于控制信号发生器、调制器和波形调节器。波形调节器用于控制衰减器。通过控制器控制信号发生器、调制器和波形调节器实现输出波形调整和增益调节，提供多种波形模式的选择输出同时功率可调，提升了微波功率源的工作效率。