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专利名称带断裂结构体声波谐振器、滤波器和电子设备
申请日2018-11-14
申请号/专利号CN201821875912.3
专利权人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
申请人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
发明人/设计人张孟伦;庞慰;刘伯华;杨清瑞
公告日2019-12-24
公告号CN209844929U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极,设置在基底上方;顶电极,与所述底电极对置,所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部;压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间;和钝化层,设置在顶电极上方,其中:声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域,所述钝化层邻近所述有效区域的边界、在所述连接部上方设置有至少一个第一断裂结构。本实用新型还涉及一种具有上述谐振器滤波器,一种具有该滤波器的电子设备。由于断裂结构的声阻抗和谐振器有效区域的声阻抗不匹配,从而在边缘处将声波反射回谐振器内,可有效阻止了谐振器内能量的泄露。
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