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专利名称一种石英晶体谐振器加工方法
申请日2018-11-14
申请号/专利号CN201811354099.X
专利权人长沙浩然医疗科技有限公司
申请人长沙浩然医疗科技有限公司
发明人/设计人不公告发明人
公告日2019-01-18
公告号CN109245740A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种石英晶体谐振器加工方法,该一种石英晶体谐振器加工方法的创新点在于对晶片腐蚀步骤进行了改进,晶片腐蚀包括以下步骤:①预处理,即依次采用水、丙酮、0.5~0.8wt%的SDS水溶液和乙醇对机械加工合格的晶片进行超声波清洗,氮吹干表面溶剂,超声波清洗温度为50~60℃;②化学腐蚀,即采用腐蚀液对晶片进行浸泡处理至所需要求,浸泡温度为26~30℃,腐蚀液包括质量比为100:3~5:0.5~0.8的NH4F饱和溶液、氧化石墨烯和NaCl;③清洗,即用溶剂洗涤除去杂质,可提高晶片在常温下氟化铵饱和溶液中的腐蚀速率。
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