本实用新型涉及一种蒸镀电源用交流电压信号采样电路，包括：降压差分采样电路、电子整流电路和放大缓冲输出电路，三者依序串联；降压差分采样电路用于采集高压交流电压信号，并在对高压交流电压信号进行降压后通过差分放大电路输出低压交流电压信号；电子整流电路用于对低压交流电压信号进行整流并输出直流脉动电压信号；放大缓冲输出电路用于在对直流脉动电压信号进行放大后通过电压跟随器输出低压直流电压信号。本实用新型运用降压差分采样—电子整流—输出放大缓冲电路的相互配合，对交流高电压信号进行采样，实现了对采样信号的快速响应，同时也使得采样电路的电气性能更加稳定可靠，能够较好适应负载工况复杂的情况，有效避免采样设备损坏。