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专利名称等离激元声波谐振双波段红外传感器
申请日2018-11-12
申请号/专利号CN201811340279.2
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人/设计人梁中翥;陶金;孟德佳;吕金光;秦余欣;梁静秋;史晓燕;侯恩柱
公告日2019-01-22
公告号CN109253743A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类集成电路

摘要

等离激元声波谐振双波段红外传感器涉及红外传感技术领域,解决了现有技术中吸收率较低和双波段吸收增加吸收层厚度的问题,包括依次连接的读出集成电路衬底、薄膜体声波谐振器、介质层和金属阵列层,金属阵列层包括复数个金属单元,每个金属单元由两种不同尺寸的金属块组成。本发明非制冷红外传感器通过在薄膜体声波谐振器表面集成介质层和金属阵列层,实现非制冷红外传感器对红外光谱的增强吸收,吸收率从20%提高到80%以上,同时通过金属块尺寸变换实现双波段,不增加吸收层厚度且红外传感器传感性能优良;通过集成方式制造,可批量生产,且成本低廉;既有传统非制冷红外传感的优点,同时响应快速、传感灵敏度高。
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