本实用新型属于高功率脉冲技术领域，具体公开了一种高功率脉冲发生器、脉冲电源，以及产生高功率脉冲的方法。脉冲发生器包括由逐级连接的多级脉冲模组组成的主体，脉冲模组响应于驱动信号以产生输出波形。脉冲模组包括：具有第一端和第二端的储能电容；多个等电位的固态开关，固态开关包括驱动端、第一功率端和第二功率端，第二功率端连接储能电容的第二端；第一隔离器件串接于储能电容的第一端和固态开关的第一功率端之间；第二隔离器件串接于脉冲模组的储能电容的第二端与邻级脉冲模组的固态开关的第二功率端之间。本实用新型的有益效果在于能够产生高电压、大电流、快边沿、宽脉冲的高功率脉冲输出。