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| 专利名称 | 一种体声波谐振器的结构及其制备方法 |
| 申请日 | 2018-11-01 |
| 申请号/专利号 | CN201811295597.1 |
| 专利权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 发明人/设计人 | 张韵;吕宏瑞;艾玉杰 |
| 公告日 | 2019-04-23 |
| 公告号 | CN109672419A |
| 法律状态 | 审中 |
| 专利类型 | 发明 |
| 行业分类 |
摘要
本发明提供了一种体声波谐振器的结构及其制备方法，采用在带有空气隙的衬底上直接转移石墨烯复合结构制备底电极的方法，解决了空气隙制备中湿法腐蚀牺牲层存在的牺牲层去除不彻底的问题，简化了工艺；同时，避免了采用CMP工艺带来的成本提升和应力积累问题，简化工艺、降低成本，提升了压电薄膜外延质量。
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