本发明涉及集成电路技术领域，具体涉及一种流控松弛振荡器，包括参考电流源、延时单元和整形电路。所述参考电流源为阈值基准电路，可产生大小为Vgs/R的电流，并提供偏置电压VBP和VBN；所述延时单元相应端口与参考电流源的VBP和VBN连接为延时单元提供偏置，延时单元的输入与流控松弛振荡器的输出VOUT连接，延时单元的输出与整形电路的输入连接；整形电路对从延时单元输出的信号进行整形，并作为流控松弛振荡器的输出VOUT。本发明所述的流控松弛振荡器具有超低功耗的特性，同时输出频率不受工艺、电源电压及温度对有源器件的影响。