本发明公开了一种固态继电器驱动装置、变频柜及其固态继电器驱动方法，该装置包括：电机控制装置(10)、继电器控制装置(30)和光信号传输装置(20)；其中，所述电机控制装置(10)，用于发送对所述固态继电器进行控制的继电器控制信号；所述光信号传输装置(20)，用于将所述电机控制装置(10)发送的继电器控制信号，传输至所述继电器控制装置(30)中固态继电器的控制端。本发明的方案，可以解决通过导线传导或者空间磁场辐射将干扰信号耦合到驱动信号内，极易对固态继电器控制信号造成干扰，存在安全性差的问题，达到提升安全性的效果。