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专利名称一种用于液体多参数传感的乐甫波器件结构及检测方法
申请日2015-03-20
申请号/专利号CN201510124141.9
专利权人南京航空航天大学
申请人南京航空航天大学
发明人/设计人陈智军;王昕辰;童锐;钟悦芸;孙聪
公告日2018-05-18
公告号CN104768113B
法律状态有效
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种用于液体多参数传感的乐甫波器件结构及检测方法。本发明的乐甫波器件结构包括压电基片、压电薄膜、第一反射栅、第二反射栅、叉指换能器、第一液体敏感区、第二液体敏感区;叉指换能器沉积在压电基片表面中部,第一反射栅(3)、第二反射栅(4)分别沉积在压电基片(1)表面的左右两侧,压电薄膜溅射在压电基片表面,第一液体敏感区设置于第一反射栅与叉指换能器之间,第二液体敏感区设置于第二反射栅与叉指换能器之间。本发明仅用一个乐甫波器件就实现对液体密度、粘度、介电常数和电导率的并行检测,能够消除液体的体积弹性模量对测量结果的影响,并且具有无源无线功能。
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