本发明公开了一种射频阻抗匹配方法、控制装置配和匹配器、以及射频设备。该射频阻抗匹配方法包括：根据预设的匹配规则从一组预设阻抗匹配参数中选择一个最佳的阻抗匹配参数，其中，所述一组预设阻抗匹配参数包括若干预设阻抗匹配参数，所述若干预设阻抗匹配参数根据所述射频处理对象的阻抗预设变化范围和史密斯原图进行设置，所述阻抗预设变化范围根据所述射频处理对象的应用进行设置；根据最佳的阻抗匹配参数控制所述阻抗匹配网络选择相应的阻抗接入所述射频源和所述射频处理对象之间。本发明通过对阻抗匹配参数范围的限定，缩小了阻抗匹配的范围，减少了阻抗匹配的次数，有效提高了匹配的效率。