为了解决现有的用于纳秒级快前沿脉冲功率源的薄膜开关寿命短、导通稳定性和可靠性低的技术问题，本发明提供了一种激光烧蚀触发薄膜开关和方波发生器。其中，激光烧蚀触发薄膜开关包括薄膜开关底板，沿同一轴线依次设置在所述薄膜开关底板上的中空柱状阴极、绝缘薄膜和阳极；阴极一端开口，另一端封闭，且封闭端上沿阴极轴向开设有通光孔；阴极内侧壁上设有内螺纹；还包括通过激光器套筒支撑件固定支撑于薄膜开关底板上的激光器套筒、与激光器套筒一端相接的激光器套筒封盖；激光器套筒另一端与阴极螺纹连接；激光器套筒内设置有激光器；激光器的出光口位置与阴极上的通光孔相对应。