本发明提供一种柔性单晶兰姆波谐振器及其形成方法。该方法包括：提供硬质基底；在硬质基底之上形成牺牲层；在牺牲层之上形成单晶薄膜层；将单晶薄膜层划分为器件区、周围区、窗口区和锚结构，窗口区用于将器件区和周围区隔开，锚结构用于连接器件区和周围区，然后在器件区之上形成叉指电极；刻蚀去除窗口区，保留器件区、锚结构和周围区；释放去除窗口区、锚结构和器件区下方的牺牲层，以使器件区和叉指电极在锚结构的作用下悬于硬质基底上；利用印章粘附器件区和叉指电极，然后断开锚结构从而使器件区和叉指电极脱离硬质基底；提供具有顶部空腔的柔性基底；利用印章将器件区和叉指电极转移至柔性基底之上并且覆盖对准顶部空腔。