本发明提供一种声表面波薄膜空腔谐振器，包括基板、设置于所述基板上部的压电材料层以及处于该所述压电材料层上部的换能器组件；所述基板上开设有用于增强换能器组件产生的声表面波反射性能的表面波反射空腔；所述换能器组件包括发送换能器单元以及接收换能器单元；且该发送换能器单元包括用于形成反压电效应、产生弹性形变、生成声表面波的第一金属电极组件以及与所述第一金属电极组件电性连接的信号源单元，利用表面波反射空腔对压电材料层生产的声表面波进行反射，最终使得声表面波能够有效的通过压电材料层进行传播，避免了传统结构中声表面波被基板吸收的不良效果，更有利于滤波器功能的实现，效果突出。