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专利名称一种声表面波器件晶圆级封装结构及其封装方法
申请日2018-09-13
申请号/专利号CN201811070101.0
专利权人中国电子科技集团公司第二十六研究所
申请人中国电子科技集团公司第二十六研究所
发明人/设计人刘娅;马晋毅;孙科;蒋欣;田本郎;杜波;杨正兵;龙飞;梁柳洪;蒋平英;徐阳;米佳
公告日2019-01-29
公告号CN109286385A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开了一种声表面波器件晶圆级封装结构,包括功能晶圆和封盖晶圆,封盖晶圆上朝向每片功能芯片的工作面的外围区域的位置具有凸起的键合台阶部,封盖晶圆与功能芯片通过键合台阶部键合连接在一起;功能芯片工作面上的电路的连接部通过导通孔与外部电极连接。与现有技术相比,本发明中功能晶圆和封盖晶圆直接键合,不需要聚合物框粘接,降低了加工成本,并可以提高器件的可靠性;本发明还公开了一种声表面波器件晶圆级封装结构的封装方法,此方法无需将功能晶圆切割成单颗芯片,直接将整片包括多片功能芯片的功能晶圆直接与封盖晶圆进行键合,大大提高了加工效率,便于大批量生产。
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