本实用新型公开了一种碳纳米电极的薄膜体声波谐振器，依次包括衬底、隔离层和压电堆层，所述压电堆层包括下电极、压电薄膜、上电极。隔离层用于隔开调节层和压电堆层，支撑薄膜体声波谐振器主体结构，还可以实现声波限制。压电堆层利用压电薄膜材料的压电性产生声波谐振，电极材料外接电源提供压电薄膜材料两端的电压，其中压电薄膜材料采用压电材料，下电极材料采用金属材料，特别的是该器件结构的上电极材料采用碳纳米材料，相比金属电极能够降低质量负载效应，利于实现器件的高频特性，同时具有更高的声阻抗，使得电极与外界零声阻抗空气更加失配，增加声波在电极处的反射。