本发明公开一种片上RC振荡器电路，属于集成电路技术领域。所述片上RC振荡器电路包括低功耗温度补偿电路、充放电控制电路、比较器电路、RS触发器及缓冲器。低功耗稳定补偿电路中第一NMOS管、第一PMOS管、第四PMOS管、第三电阻及第二NMOS管构成产生负温度系数的偏置电流的回路；第二NMOS管、第二PMOS管、第三PMOS管、第三NMOS管、第二电阻构成产生正温度系数电流的回路；两回路通过第二NMOS管实现负反馈连接，第一电容和第一电阻对负反馈环路进行米勒补偿提升稳定性，只需四条电流支路，实现温度补偿所需的正负温度系数电流结构极简，功耗降低；第一NMOS管、第二NMOS管、第三NMOS管工作在亚阈值区实现偏置电流较小，功耗较小。