一种MEMS薄膜体声波谐振器，包括对称设置的两个谐振单元，每一个谐振单元包括：谐振结构，为环形或块状；支撑结构，用于支撑谐振结构；和耦合结构，与所述谐振结构连接，MEMS薄膜体声波谐振器工作时，在耦合结构上施加耦合静电电压，两个谐振单元的两个耦合结构之间形成弱耦合。本发明在常规MEMS薄膜体声波谐振器的基础上，通过设计两个谐振单元的弱耦合结构，可实现高灵敏检测和抑制共模干扰。