本发明公开了一种基于多MOS管串联的精确幅度高压方波产生电路，通过多级MOS管构成斩波电路，而多管串联使得电路耐压值足够高，较高的输入电压值和较低的输入电阻值保证了较高的输入电流，从而使得输出的高压方波上升时间和下降时间均在100ns以内，驱动信号经高压放大器放大后作为输入，其输出的方波信号的频率取决于驱动信号的频率和MOS管开关频率的上限。