本发明提供了一种超声波电源，包括：功率因数调节单元，用于对输入的交流电进行整流滤波，生成直流电，进行电压转换和逆变处理，生成脉冲电信号，向匹配网络输出脉冲电信号，控制脉冲电信号的功率因数；匹配网络，用于对脉冲电信号进行功率放大处理，经过针对超声波换能器的负载匹配后，输出给超声波换能器；负载阻抗跟踪单元，用于对超声波换能器的当前信号波形进行实时采集，根据当前信号波形确定超声波换能器对应的当前负载阻抗，根据当前负载阻抗确定与超声波换能器的当前谐振频率相匹配的目标频率，控制匹配网络向超声波换能器输出频率为述目标频率的脉冲电信号。本发明能够提高超声波换能器的输出功率。