本实用新型提供了一种超声波电源，包括：功率因数调节单元、匹配网络和负载阻抗跟踪单元；所述功率因数调节单元，与所述匹配网络相连，用于将脉冲电信号输出给所述匹配网络；所述匹配网络，与所述超声波换能器连接，用于将功率放大后的脉冲电信号输出给所述超声波换能器；所述负载阻抗跟踪单元，与超声波换能器和所述匹配网络相连，用于对所述超声波换能器的当前信号波形进行实时采集，并将生成的用于控制脉冲电信号频率的控制信号发送给所述匹配网络。本实用新型能够提高超声波换能器的输出功率。