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专利名称一种声表面波单端对谐振器
申请日2018-06-22
申请号/专利号CN201810653646.8
专利权人中国科学院声学研究所
申请人中国科学院声学研究所
发明人/设计人刘建生;齐晓琳;何世堂
公告日2018-12-04
公告号CN108933579A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明涉及一种声表面波单端对谐振器,所述单端对谐振器包括:压电基片、第一叉指换能器、第一反射栅和第二反射栅;第一叉指换能器设置在压电基片上,第一反射栅和第二反射栅的结构相同,且对称的设置在第一叉指换能器的两端;还包括:敏感膜和第二叉指换能器;第二叉指换能器设置在第一反射栅和第二反射栅之间,第二叉指换能器与第一叉指换能器的上下回流条相连接;敏感膜设置在第一叉指换能器和第二叉指换能器的中间位置。本发明的谐振器,通过增加一个叉指换能器,保证了谐振器高品质因子和低损耗的优点,有助于提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。同时在两个叉指换能器之间内置敏感膜,克服敏感膜成膜区域问题,很容易应用到传感器领域。
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