本发明公开了一种基于固态开关的高压脉冲发生器，该发生器包括输入电源、电路的快关管、至少一组固态开关模块、负载电阻和负载电容，电路的快关管的一端连接输入电源的正极，另一端连接到至少一组固态开关模块的输入端；至少一组固态开关模块的输出端连接到输入电源的负极；固态开关模块包括一个储能电容、一个上位开关和一个下位开关，上位开关和下位开关串联后与储能电容并联；当只有一组固态开关模块的时候，负载电阻的一端连接到固态开关模块的上位开关和下位开关之间，负载电阻的另一端与负载电容串联后连接到输入电源的负极；当固态开关模块多于一组的时候，不同的固态开关模块并联，相邻的固态开关模块的输入端之间串联有保护二极管。