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专利名称弹性波装置、高频前端电路以及通信装置
申请日2018-06-15
申请号/专利号CN201880042051.7
专利权人株式会社村田制作所
申请人株式会社村田制作所
发明人/设计人岸本谕卓
公告日2020-02-18
公告号CN110809857A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

弹性波装置(1)依次层叠支承基板(51)、声反射层(56)、压电层(52)、和由一对梳齿状电极构成的IDT电极(110)以及布线电极(41以及42),声反射层(56)具有低Z电介质层(53B)、配置在低Z电介质层(53B)的下方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的高Z电介质层(55)、以及配置在低Z电介质层(53B)的上方且声阻抗比低Z电介质层(53B)高的金属层(54),在俯视声反射层(56)的情况下,金属层(54)在包含IDT电极(110)和布线电极(41a、41b、42a以及42b)并且不包含IDT电极(110)以外的IDT电极的区域中,金属层(54)的形成面积比高Z电介质层(55)的形成面积小。
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