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专利名称一种频率可调的薄膜体声波谐振器
申请日2018-05-25
申请号/专利号CN201820800237.1
专利权人河海大学常州校区
申请人河海大学常州校区
发明人/设计人齐本胜;蔡春华;孙彬彬;韩燕;华迪;谈俊燕
公告日2018-10-02
公告号CN207939485U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型公开了一种频率可调的新型薄膜体声波谐振器,依次包括衬底、温度补偿层、调节层、隔离层和压电堆层,所述压电堆层包括下电极、压电薄膜、上电极。温度补偿层材料具有正温度系数,能够有效降低由于负温度系数压电薄膜造成的温度‑频率漂移,提高薄膜体声波谐振器的稳定性,同时温度补偿层材料需具有低热导率特性,以此隔绝温度,使热源传递的热量主要集中在压电堆层中,提高压电堆层的升温效率;调节层采用金属材料,外接热源加热调节层,使压电堆层温度变化,则杨氏模量发生变化,频率也会变化,据此原理,调节温度,实现薄膜体声波谐振器频率的调节;隔离层用于隔开调节层和压电堆层,支撑薄膜体声波谐振器主体结构,还可以实现声波限制。
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