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专利名称具有改进的电气特征的微机电谐振器以及电子设备
申请日2018-05-24
申请号/专利号CN201820784678.7
专利权人意法半导体股份有限公司
申请人意法半导体股份有限公司
发明人/设计人G·加特瑞;A·托齐奥;C·瓦尔扎希纳
公告日2019-02-05
公告号CN208479584U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本公开提供了具有改进的电气特征的微机电谐振器以及电子设备。一种MEMS谐振器配备有基底、在由第一轴线和第二轴线形成的水平平面中悬置在基底上方的移动结构,移动结构具有彼此平行并且沿着第二轴线延伸的第一臂和第二臂,第一臂和第二臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在第一臂和第二臂的相应的端部处耦合以形成内部窗口。第一电极结构定位在窗口外部并且电容性耦合至移动结构。第二电极结构定位在窗口内部。悬置结构在窗口中具有悬置臂。附接装置在窗口中居中地耦合至悬置元件并且接近第二电极结构。通过本公开,能够使MEMS谐振器的能量损失最小化,导致了高品质因子Q以及随之提高了在功耗方面的性能。
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