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专利名称薄膜体声波谐振器结构以及薄膜体声波滤波器
申请日2018-05-04
申请号/专利号CN201820654231.8
专利权人贵州中科汉天下微电子有限公司
申请人贵州中科汉天下微电子有限公司
发明人/设计人唐滨;赖志国;杨清华;赖亚明
公告日2018-11-23
公告号CN208143193U
法律状态有效
专利类型实用新型
行业分类

摘要

本实用新型提供了一种薄膜体声波谐振器结构,该薄膜体声波谐振器结构包括晶圆衬底以及位于该晶圆衬底上的多个叠层结构,该多个叠层结构与所述晶圆衬底形成多个薄膜体声波谐振器单元,每一叠层结构从下至上均依次包括布拉格反射层、下电极层、压电层以及上电极层,其中,所述多个薄膜体声波谐振器单元中的下电极层、压电层、上电极层中的两层薄膜在所述晶圆衬底上的厚度按照第一变化趋势分布、另一层薄膜在该晶圆衬底上的厚度按照第二变化趋势分布,其中,第一变化趋势与第二变化趋势相反。本实用新型所提供的薄膜体声波谐振器结构上的薄膜体声波谐振器单元其频率分布均匀。相应地,本实用新型还提供了一种薄膜体声波滤波器。
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