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专利名称一种49S石英晶体谐振器的制备方法
申请日2018-04-30
申请号/专利号CN201810406140.7
专利权人珠海东精大电子科技有限公司
申请人珠海东精大电子科技有限公司
发明人/设计人谢尚平;毛毅;吴延剑
公告日2019-11-05
公告号CN110417376A
法律状态审中
专利类型发明
行业分类

摘要

本发明公开并提供一种高精度的49S石英晶体谐振器的制备方法,本发明包括以下步骤:a.通过增大晶片的尺寸,进而消除因晶片尺寸比例引起的寄生频率;b.设计石英晶片在研磨机上进行粗、中、细精细研磨间的频率预留量;c.计算返回频率,利用酸性溶液对研磨后的石英晶片进行深度腐蚀,d.在低真空条件下,采用氮离子对石英晶片的表面进行轰击,清洁石英晶片的表面;e.调整电极尺寸,所述电极尺寸与所述晶片尺寸相匹配,所述电极尺寸对C1动态电容、灵敏度、寄生杂波抑制起到作用;f.通过石英晶片的腐蚀频率和晶体谐振器频率差来确定膜层厚度之后进行镀膜,形成引出电极,并使其频率达到规定范围;g.将镀膜后的石英晶片装在基座上,点上导电胶通过高温固化。
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